洁净室的定义

洁净室（Clean Room），亦称为无尘室或清净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的 微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流 分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在 之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在 一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。世界各国均有自定规格，但普 遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。

209E与209D等不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如 M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以 每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后 二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。

美国联邦标准FS  209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位， 以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，好的等级为Class 1，差则为Class  8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指 数而得。

（天驰超净工作台）