超净工作台的操作区洁净度检定方法

尽量采用大流量(47.2 x 10-5 m3 / s [28.3 L/m inj]) 尘埃粒子计数器, 也可以采用小流量尘埃粒子计数器, 但采样量不得小于IL。

当操作区气溶胶浓度达到稳定条件, 在距主过滤器或整流格栅出口250mm 的平行断面的中心处(垂直层流超净工作台面25omm 的中心处) 连续测试5次, 求其平均值。洁净度应符合l 节(2 ) 要求。

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（超净工作台）